заведующий конструкторским отделом, к.т.н.
Тел.: 8 (3822) 492611
Соловьев Андрей Александрович
заведующий лабораторией прикладной электроники, к.т.н.
Тел.: 8 (3822) 491651
E-mail: aa.solovyov@hcei.ru
В Институте сильноточной электроники СО РАН разработаны протяженные магнетронные распылительные системы (ПМРС) с вращающимися цилиндрическими катодами. ПМРС предназначены для использования в высокопроизводительных вакуумных технологических установках для нанесения покрытий из металлов и их соединений на подложки большой площади, в частности на архитектурные стекла.
Неоспоримым преимуществом цилиндрических магнетронов является высокая степень использования материала мишени - до 80%. В зависимости от типа и производительности установки мы можем предложить либо магнетроны с непрерывно вращающейся мишенью, либо магнетроны с периодически поворачиваемой мишенью. Дополнительным преимуществом магнетрона с непрерывно вращающейся мишенью является высокая стабильность работы в режимах реактивного распыления.
Магнетрон с вращающейся мишенью наиболее эффективен для применения в конвейерных технологических установках, либо в установках периодического действия с неподвижными технологическими источниками. Время непрерывной работы магнетрона может достигать 150 часов.
Магнетрон с периодически поворачиваемой мишенью может применяться в установках периодического действия с подвижными технологическими источниками. Поворот катода осуществляется при очередном вскрытии вакуумной камеры. Допустимое время непрерывной работы магнетрона между поворотами 10 - 20 часов.
Конструктивно ПМРС представляет собой трубу, выполненную из распыляемого металла, имеющую диаметр 60 - 120 мм и длину до 2,5 м. Внутри мишени (катода) расположены магнитная система на основе постоянных самарий - кобальтовых магнитов и каналы для протока охлаждающей воды. Система уплотнений позволяет вращать катод магнетрона относительно магнитов, при этом в зону распыления попадают новые участки катода.
В зависимости от технологических требований мы можем предложить магнетроны с магнитными системами, формирующими либо один поток распыленного материала (односторонний магнетрон), либо два потока в диаметрально противоположных направлениях, что позволяет производить нанесение покрытий одновременно на две подложки.
Магнитная система магнетронов, сконструированная по результатам компьютерного моделирования, обеспечивает высокую однородность нанесения покрытия даже при значительном износе мишени.
