Ионный источник «Титан»

Котрагированный разряд между катодами (1) и полым анодом (2) служит для генерации ионов газов и инициирования вакуумной дуги (в этом случае время его горения составляет 20 мкс). Ионы металлов генерируются в катодных пятнах вакуумной дуги, зажигающейся между электродами (2 и 3). Отбор ионов осуществляется с поверхности плазмы, стабилизированной мелкоячеистой металлической сеткой 4. Ускорение ионов до необходимой энергии происходит при подаче постоянного ускоряющего напряжения между полым анодом (2) и электродом (5). Последний выполнен в виде двух сеток из металлических проволочек с высокой геометрической прозрачностью. Пучок ускоренных ионов принимается коллектором на котором помещаются облучаемые образцы или детали. Для отсечки вторичных электронов, выбитых из коллектора ионами, на одну из сеток электрода (6) подается отрицательный потенциал величиной не менее 1.5 кВ. Изолятор (7) заполнен трансформаторным маслом. Охлаждение источника осуществляется холодной водой, циркулирующей через радиатор.

Основные технические характеристики

Ускоряющее напряжение	20-80 кВ
Токи разрядов: - вакуумной дуги - контрагированной дуги	50-150 А 30-60 А
Токи пучка: - металлических ионов - газовых ионов	0.1-0.5 А 0.1-0.25 А
Рабочие частоты повторения импульсов	12.5, 17, 25, 50 Гц
Длительность импульсов тока	400 мкс
Задержка момента зажигания вакуумной дуги относительно контрагированной дуги	0-400 мкс
Площадь сечения ионного пучка	250 см2
Время работы вакуумной дуги без смены катода	30 часов
Время работы котрагированной дуги без смены катодов	100 часов
Напряжение в сети электропитания источника	3х380 В
Избыточное давление сжатого газа в источнике	2-10 атм.

Источник может генерировать пучки ионов любых газов (за исключением кислорода) и металлов.