Плазмогенератор «ПИНК» в протяжённой геометрии

Плазмогенератор может использоваться как независимо для создания плотной однородной плазмы в больших вакуумных объемах, так и использоваться для модернизации промышленных технологических установок (типа ННВ 6.6-И1, ВУ-1Б, ВУ-2, «Булат» и др.) для реализации комплексных технологий поверхностной обработки изделий, что существенно расширяет технологические возможности серийного оборудования и, соответственно, номенклатуру обрабатываемых изделий.

Использование протяженного плазмогенератора позволяет:

• обеспечить высокую энергетическую эффективность процесса генерации низкотемпературной объемной плазмы;
• уменьшить долю микрокапельной фракции в потоке плазмы вакуумных электродуговых испарителей;
• производить плазменную очистку, травление и активацию поверхности без подпыления ее парами материала катода;
• реализовать комплексную обработку изделий в едином вакуумном цикле, включая процессы финишной очистки, активации, электронно-ионно-плазменного азотирования поверхности и плазменно-ассистированного напыления функциональных покрытий;
• обеспечить формирование микро- и наноструктурированных покрытий, обладающих высокой твердостью (> 25 ГПа), повышенной (до 2-3 раз) износостойкостью, улучшенной коррозионной стойкостью и имеющих привлекательный внешний вид.

Реализуемые технологические процессы:

• Очистка, травление, отжиг, активация поверхности изделий.
• Азотирование поверхности изделий.
• Плазменно-ассистированное осаждение функциональных покрытий на изделия.

Параметр	ПИНК П-04М	ПИНК П-06М	ПИНК П-12М
Ток разряда, А	5—100	5—150	5—250
Рабочее давление, Па	0,3—1,5
Рабочие газы	аргон, азот
Размеры выходной апертуры, мм	400х70	600х70	1200х90
Неравномерность распределения плотности плазмы вдоль вертикальной оси, %	±5	±5	±7