Серия усовершенствованных генераторов металлической плазмы на основе электродугового распыления катодной мишени
Серия усовершенствованных генераторов металлической плазмы на основе электродугового распыления катодной мишени.
| Ток разряда, А | до 250 |
| Напряжение разряда, В | 15—25 |
| Длина рабочей зоны, мм | 380 |
| Скорость осаждения, мкм/час | до 6 |
| Рабочее давление, Па | 0.01—1 |
Краткое описание технологии:
Дуговой катодный испаритель используется для нанесения покрытий, в том числе чистых металлов и их соединений (нитриды, оксиды, карбиды, бориды и т.д.), с помощью метода вакуумно-дугового напыления на различные материалы (стали, твердые сплавы, стекло, керамика, пластик и т.д.) и изделия.
Оборудование и конечный продукт:
Синтез покрытий методом вакуумного дугового напыления обеспечивает повышение твердости, износостойкости, антизадирных свойств, коррозионной стойкости и улучшение внешнего вида изделий (инструмент, штамповая оснастка, детали машин и механизмов).
Данная технология позволяет получать покрытия толщиной ≥2 мкм. Состав и свойства синтезируемых покрытий можно изменять путем изменения состава катода и варьированием параметров разряда. С помощью предложенной технологии были получены покрытия Ti-Cu-N с нанокристаллической структурой (размер зерна 10—30 нм) толщиной 2 мкм, обладающие сверхтвердостью ≥40 ГПа, высокой адгезией и износостойкостью.
Преимущества технологии:
- нанесение сверхтвердых износостойких наноструктурных покрытий;
- возможность использования многокомпонентных композиционных катодов (Al-Ti, Ti-Cu, Ti-Si-Al и др.);
- изменяя энергию ионов реактивного газа и состав катодов, можно эффективно управлять микроструктурой растущего слоя и получать покрытия с заданными физико-химическими и механическими свойствами.
Области индустриального применения:
- все отрасли машиностроения;
- инструментальная промышленность.
