Дуговой катодный испаритель аксиальной геометрии

Краткое описание технологии:

Дуговой катодный испаритель используется для нанесения покрытий, в том числе чистых металлов и их соединений (нитриды, оксиды, карбиды, бориды и т.д.), с помощью метода вакуумно-дугового напыления на различные материалы (стали, твердые сплавы, стекло, керамика, пластик и т.д.) и изделия.

Оборудование и конечный продукт:

Синтез покрытий методом вакуумного дугового напыления обеспечивает повышение твердости, износостойкости, антизадирных свойств, коррозионной стойкости и улучшение внешнего вида изделий (инструмент, штамповая оснастка, детали машин и механизмов).

Данная технология позволяет получать покрытия толщиной ≥2 мкм. Состав и свойства синтезируемых покрытий можно изменять путем изменения состава катода и варьированием параметров разряда. С помощью предложенной технологии были получены покрытия Ti-Cu-N с нанокристаллической структурой (размер зерна 10—30 нм) толщиной 2 мкм, обладающие сверхтвердостью ≥40 ГПа, высокой адгезией и износостойкостью.

Преимущества технологии:

• нанесение сверхтвердых износостойких наноструктурных покрытий;
• возможность использования многокомпонентных композиционных катодов (Al-Ti, Ti-Cu, Ti-Si-Al и др.);
• изменяя энергию ионов реактивного газа и состав катодов, можно эффективно управлять микроструктурой растущего слоя и получать покрытия с заданными физико-химическими и механическими свойствами.

Области индустриального применения:

• все отрасли машиностроения;
• инструментальная промышленность.