Генератор газовой плазмы с холодным полым катодом в магнитном поле

Разработан генератор плазмы с холодным полым катодом для эффективной генерации плазмы реакционноспособных и химически активных газов в установках ионно-ассистированного осаждения функциональных покрытий. Газовая плазма, характеризующаяся плотностью ~ 10¹⁰ см^-3 и температурой электронов ~ 3 эВ, генерируется в большом объеме (до 0,5 м³) с помощью самостоятельного дугового разряда с полым катодом при токах (20 — 200) A и давлениях (10^-1 — 1) Па. Данный плазмогенератор состоит из цилиндрического полого катода, помещенного в аксиальное магнитное поле, и системы поджига дуги. Рабочая вакуумная камера играет роль полого анода. Инициируемое внутри полого катода катодное пятно вращается по круговой орбите, находясь в максимуме магнитного поля. В анодной области разряда генерируется плотная однородная низкотемпературная газовая плазма с минимальным содержанием микрокапельной фракции.

Ток разряда, А	20—200
Напряжение горения, В	20—40
Ток магнитной катушки, А	0,5
Рабочее давление, Па	0,1—1
Концентрация плазмы, см-3	109—1010