Вакуумная установка для нанесения износостойких нитридных покрытий
Характеристики
Область применения
—
модификация поверхности
Контакты
—
Институт сильноточной электроники СО РАН, (ИСЭ СО РАН)
634055, г. Томск, пр. Академический 2/3
Заведующий лабораторией прикладной электроники
СОЛОВЬЁВ Андрей Александрович
aa.solovyov@hcei.ru
8 (3822) 491651
634055, г. Томск, пр. Академический 2/3
Заведующий лабораторией прикладной электроники
СОЛОВЬЁВ Андрей Александрович
aa.solovyov@hcei.ru
8 (3822) 491651
Вакуумная установка для нанесения износостойких нитридных покрытий
#PROP_TITLE#
—
#PROP_VALUE#
НАЗНАЧЕНИЕ
Магнетронное осаждение износостойких нитридных покрытий методом дуального сильноточного магнетронного распыления.
ПАРАМЕТРЫ ПОКРЫТИЙ
| Состав | TiN, TiAlN, CrAlN, многослойные металл/нитрид покрытия |
| Твердость | 20÷30 ГПа |
| Скорость износа | 10-6÷10-7 мм3·Н-1·м-1 |
Сотрудники
Телефон
E-mail

