Вакуумная установка для нанесения электролита твердооксидных топливных элементов
Характеристики
Потребляемая мощность
—
30 кВт
Область применения
—
модификация поверхности
Размеры
—
2300×2000×1600 мм3
Контакты
—
Институт сильноточной электроники СО РАН, (ИСЭ СО РАН)
634055, г. Томск, пр. Академический 2/3
Заведующий лабораторией прикладной электроники
СОЛОВЬЁВ Андрей Александрович
aa.solovyov@hcei.ru
8 (3822) 491651
634055, г. Томск, пр. Академический 2/3
Заведующий лабораторией прикладной электроники
СОЛОВЬЁВ Андрей Александрович
aa.solovyov@hcei.ru
8 (3822) 491651
Вакуумная установка для нанесения электролита твердооксидных топливных элементов
#PROP_TITLE#
—
#PROP_VALUE#
НАЗНАЧЕНИЕ
Магнетронное осаждение тонкопленочного двухслойного электролита на основе оксидов циркония и церия на несущие аноды твердооксидных топливных элементов.
Виды покрытий: YSZ, GDC.
| Размер установки | 2300×2000×1600 мм3 |
| Потребляемая мощность | 30 кВт |
| Метод нанесения |
дуальное реактивное магнетронное распыление |
| Размер обрабатываемых анодов | 100×100 мм2 |
| Кол-во анодов в одной загрузке | 24 шт. |
| Скорость нанесения | 5-30 нм/мин |
| Стабилизация процесса реактивного распыления по электрическим параметрам разряда | |
| Полная автоматизация процесса нанесения | |
Сотрудники
Телефон
E-mail

