634055, г. Томск, пр. Академический 2/3
Заведующий лабораторией
плазменной эмиссионной электроники
АХМАДЕЕВ Юрий Халяфович
ahmadeev@hcei.ru
8 (3822) 491713, 8-923-408-6284
Автоматизированная вакуумная ионно-плазменная установка «ЭЛИОН» в едином рабочем цикле позволяет:
- проводить предварительную ионно-плазменную очистку,
- активацию поверхности изделий,
- формирование на поверхности изделий упрочненного азотированного слоя в режиме «элионного» азотирования.
- формировать различные функциональные покрытия с помощью плазменно-ассистированного вакуумно-дугового напыления.
Использование протяженных генераторов как газовой, так и металлической плазмы позволяет значительно повысить равномерность обработки крупногабаритных и протяжённых изделий (валы, шнеки, плунжеры, лопатки турбин и т.п.) по сравнению с традиционными установками, использующими метод КИБ.
Установка позволяет наносить:
- однослойные,
- многослойные,
- градиентные наноструктурированные,
- нанослойные,
- нанокомпозитные покрытия и их комбинации.
«Элионный» режим азотирования подразумевает периодическое прикладывание положительного и отрицательного напряжения смещения к обрабатываемой детали. Это обеспечивает эффективный подогрев электронной компонентой плазмы без ионного травления его поверхности. Очистка поверхности детали, при этом, производится в перерывах между электронным нагревом.
«Элионный» режим обработки практически исключает ионное травление в процессе обработки, тем самым предотвращая увеличение шероховатости модифицируемой поверхности деталей.
Конструкционные особенности установки позволяют устанавливать манипулятор для крепления деталей сверху и снизу рабочей камеры, тем самым упрощая размещение деталей в вакуумной камере для обработки.
Вакуумная камера оснащена шестью прямоугольными фланцами с отверстием размером 140х670 мм. и имеет двойные стенки для улучшенного охлаждения, что позволяет проводить высокотемпературные процессы азотирования без перегрева оборудования.
В базовой комплектации установка оснащается одним протяженным генератором газовой плазмы ПИНК-П06М и двумя протяженными электродуговыми испарителями ДП600. По запросу можно увеличить количество генераторов плазмы и электродуговых испарителей для повышения производительности и расширения номенклатуры осаждаемых покрытий.
Использование карты технологических процессов даёт возможность проводить в автоматическом режиме предустановленные стандартные процессы обработки деталей, а также разрабатывать и сохранять свои, уникальные режимы обработки. Протоколы техпроцессов автоматически сохраняются на жёсткий диск.
Система напуска газов имеет три канала и позволяет смешивать технологические газы в любых пропорциях и стабилизировать поток газа, либо давление в камере.
Вакуумная система установки оснащена высокопроизводительными турбомолекулярным и пластинчато-роторным насосами и позволяет быстро достигать предельного давления ниже 0,005 Па.
По запросу установка комплектуется системой быстрой замены садок деталей для повышения производительности обработки.
Основные характеристики установки "ЭЛИОН"
| Размеры установки | 2500×2600×2300 мм |
| Размеры садки деталей | Ø700 h700 мм |
| Ток разряда генератора газовой плазмы | до 200 А |
| Ток разряда дугового испарителя | до 250 А |
| Манипулятор | 12 позиций, 200 кг |
| Потребляемая мощность | до 70 кВт |
| Рабочее давление | 0.01–2 Па |
| Водяное охлаждение | не более 5 м3/ч |
Установка «ЭЛИОН» предназначена для обработки металлических изделий
- на предприятиях/производствах производящих детали машин и механизмов, работающих в условиях повышенных нагрузок
- на инструментальных производствах для упрочнения металлорежущего инструмента и повышения его производительности и срока службы
- в научных и образовательных учреждениях для проведения исследований по ионно-плазменной обработке поверхности материалов и обучения студентов
- и многих других применений
Габаритные размеры установки 2500×2600×2300 мм, позволяют компактно размещать ее в производственных помещениях. Для подключения необходима лишь трёхфазная сеть (при комплектации установки чиллером).
Разработанные автоматизированные процессы обработки изделий не требуют высокой квалификации операторов для работы с установкой «ЭЛИОН». Наши специалисты обеспечивают запуск установки на территории Заказчика, обучение персонала для безопасной и эффективной работы на установке, а также гарантийное обслуживание и техническое сопровождение.
Срок изготовления от 10 месяцев.

