Мощный эксимерный лазер
Характеристики
Потребляемая мощность
—
1000 Вт
Область применения
—
Отжиг полупроводников, Микроэлектроника, Обработка материалов, Научные исследования
Контакты
—
Институт сильноточной электроники СО РАН, (ИСЭ СО РАН)
634055, г. Томск, пр. Академический 2/3
ЛОСЕВ Валерий Федорович
главный научный сотрудник
лаборатории газовых лазеров,
доктор физ.-мат. наук
vf.losev@hcei.ru
8 (3822) 491891
634055, г. Томск, пр. Академический 2/3
ЛОСЕВ Валерий Федорович
главный научный сотрудник
лаборатории газовых лазеров,
доктор физ.-мат. наук
vf.losev@hcei.ru
8 (3822) 491891
Мощный эксимерный лазер
#PROP_TITLE#
—
#PROP_VALUE#
Назначение
Прибор предназначен для получения мощных импульсов лазерного излучения в ультрафиолетовой области спектра.
Состав
Прибор состоит из трех блоков:
- лазерного блока, включающего лазерную камеру, конденсаторы, коммутатор;
- электрического пульта управления, включающего генератор запуска коммутаторов, высоковольтный источник, блок питания и управления;
- газового пульта управления, включающего вакуумный насос, систему приготовления газовой смеси, баллоны с газами.
Области применения
- Отжиг полупроводников,
- Микроэлектроника,
- Обработка материалов,
- Научные исследования.
Характеристики лазера
| Длина волны излучения | 308 нм |
| Энергия импульса излучения | 1-5 Дж |
| Длительность импульса по уровню 0.5 | 100-300 нс |
| Частота повторения импульсов | 1 Гц |
| Потребляемая мощность (220 в) | 1000 Вт |
