Эксимерные лазеры
Характеристики
Область применения
—
отжиг полупроводников, испарение материалов для получения нано-порошков и нанесения пленок, накачка лазеров на красителях, фотохимия, медицина и биология, запуск разрядников, микроэлектроника, обработка материалов
Масса
—
150-180 кг
Мощность излучения
—
до 150 Вт
Размеры
—
70х40х130 см
Контакты
—
Институт сильноточной электроники СО РАН, (ИСЭ СО РАН)
634055, г. Томск, пр. Академический 2/3
ЛОСЕВ Валерий Федорович
главный научный сотрудник
лаборатории газовых лазеров,
доктор физ.-мат. наук
vf.losev@hcei.ru
8 (3822) 491891
634055, г. Томск, пр. Академический 2/3
ЛОСЕВ Валерий Федорович
главный научный сотрудник
лаборатории газовых лазеров,
доктор физ.-мат. наук
vf.losev@hcei.ru
8 (3822) 491891
Эксимерные лазеры
#PROP_TITLE#
—
#PROP_VALUE#
Назначение
Прибор предназначен для получения мощных коротких импульсов лазерного излучения в ультрафиолетовой области спектра.
Области применения
- отжиг полупроводников,
- испарение материалов для получения нано-порошков и нанесения пленок,
- накачка лазеров на красителях,
- фотохимия,
- медицина и биология,
- запуск разрядников,
- микроэлектроника,
- обработка материалов.
Параметры лазера
| длина волны излучения | 193, 248, 308, 351 нм |
| энергия импульса излучения | до 1000 мДж |
| длительность импульса по уровню 0.5 | 20- 35 нс |
| частота повторения импульсов | до 200 Гц |
| размеры лазерного пучка | 28х(7-10) мм |
| средняя мощность излучения | до 150 Вт |
| вес | 150-180 кг |
| габариты лазера | 70х40х130 см |
Лазер может комплектоваться дополнительными оптическими элементами неустойчивого резонатора и задающего генератора.
