ОБЪЯВЛЕНИЕ О ЗАЩИТЕ ДИССЕРТАЦИИ
Соискатель:
СОЛОВЬЕВ Андрей Александрович
Тема диссертации:
УСТРОЙСТВА СО СКРЕЩЕННЫМИ ЭЛЕКТРИЧЕСКИМ И МАГНИТНЫМ ПОЛЯМИ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ПОДЛОЖКИ БОЛЬШОЙ ПЛОЩАДИ
Шифр совета:
Д 003.031.01
Вид диссертации:
кандидатская
Специальность: 05.27.02 – вакуумная и плазменная электроника
Работа выполнена:
в Федеральном государственном бюджетном учреждении науки Институте сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук.
Дата защиты: 10 апреля 2007 г.
Место защиты:
г. Томск, пр. Академический, 2/3.
СВЕДЕНИЯ О ДИССЕРТАЦИИ
Соискатель:
СОЛОВЬЕВ Андрей Александрович
Тип диссертации:
кандидатская
Отрасль науки:
технические науки
Тема диссертации:
УСТРОЙСТВА СО СКРЕЩЕННЫМИ ЭЛЕКТРИЧЕСКИМ И МАГНИТНЫМ ПОЛЯМИ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ПОДЛОЖКИ БОЛЬШОЙ ПЛОЩАДИ
Шифр научной специальности:
05.27.02 – вакуумная и плазменная электроника
Дата размещения объявления:
06.03.2007
Дата защиты:
10.04.2007
Автореферат:
Скачать (06.03.2007)
Место проведения защиты:
Институт сильноточной электроники СО РАН
634055, г. Томск-55, пр. Академический, 2/3. ИСЭ СО РАН
Телефон:
8 (382-2) 492-586
E-mail:
pegel@lfe.hcei.tsc.ru