СВЕДЕНИЯ О ДИССЕРТАЦИИ
Соискатель:
СОЧУГОВ Николай Семенович
Тип диссертации:
докторская
Отрасль науки:
технические науки
Тема диссертации:
ИОННО-ПЛАЗМЕННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ И ПРОЦЕССЫ НАНЕСЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ПОДЛОЖКИ БОЛЬШОЙ ПЛОЩАДИ
Шифр научной специальности:
05.27.02 - Вакуумная и плазменная электроника
Дата размещения объявления:
02.10.2013
Дата защиты:
26.12.2013
Автореферат:
Скачать (дата размещения 02.10.2013)
Место проведения защиты:
Институт сильноточной электроники СО РАН
634055, г. Томск-55, пр. Академический, 2/3. ИСЭ СО РАН
Телефон:
8 (382-2) 492-586
E-mail:
pegel@lfe.hcei.tsc.ru

